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建立100級(ISO 5)潔凈室所需的實驗室用品和設備

什么是100級無塵室?

ISO 5級潔凈室,也稱為100級潔凈室,每立方英尺空氣僅允許100個大小為0.5 µm或更大的顆粒(100,000顆粒/每m³)。這種分類在光譜的更關鍵的一端,需要高水平的過濾。即使要進入100級,也需要通過其他ISO受控環境。

可能需要100級潔凈室的制造業包括航空航天,光學,半導體,太陽能,硅片板,記錄介質和可植入醫療設備。為了成功啟動精心設計的ISO 5潔凈室,預計劃,過程實施和理解系統工程是至關重要的組成部分。

 

ISO 5潔凈室分類

ISO教室標識的命名(ISO標準146144-1:2015)基于每m 3空氣中≥0.1 µm或更大的允許顆粒數的十進制對數,而聯邦標準209E的編號類別表示空氣中允許的微粒≥0.5 mm / ft 3。

在理想情況下,要實現ISO 5空氣清潔度,您必須通過ISO 8(前室)進入潔凈室,然后先通過ISO 7,再通過ISO 6,然后再進入。盡管這并不總是可行的,但法規要求兩個連通的房間的清潔度等級相差不得超過兩個數量級。

100級無塵室和清潔器設施采用層流或單向氣流去除空氣中的摻假物。空氣以0.3-0.5 m / s的速度沿一個方向向下掃過房間,然后離開地板。超低滲透空氣(ULPA)過濾效率高達99.9995%,可去除高達0.12微米的空氣中顆粒。

100級潔凈室的空氣微粒清潔度

美光

0.1

0.2

0.3

0.5

1個

5

顆粒/ m 3

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29


證明持續合規的測試時間表

測試參數

班級

zui大時間間隔

測試程序

顆粒計數測試

<= ISO 5

6個月

ISO 14644-1附錄A

氣壓差

所有課程

12個月

ISO 14644-1附件B5

空氣流動

所有課程

12個月

ISO 14644-1附件B4


聯邦和ISO氣流速度標準

等級:ISO 146144-1(聯邦標準209E)

平均風速(m / s(ft / min))

每小時換氣次數

天花板覆蓋

ISO 5(100級)

0.203 – 0.406(40 – 80)

240 – 480

35 – 70%

成衣

美G“環境科學技術研究所”(IEST)建議為100級(ISO5)潔凈室使用以下衣物。

  • 發套
  • 兜帽
  • 口罩(2X)
  • 工作服
  • 靴子
  • 防護手套
  • 您可能還需要在Class 100潔凈室中儲備起泡劑,胡須套,護目鏡,手套襯里,贓物和鞋套。

為了zui大程度地減少ISO 5潔凈室中顆粒物的污染,只允許使用無脫落的潔凈室PPE。它們通常由Gortex,Tyvek,Dacron或其他非織造材料(如聚丙烯或其他微孔材料)制成。

工作服

  • 滌綸無塵室套裝
  • 聚丙烯無塵工作服
  • 連帽連體工作服
  • 微孔工作服
  • ISO 6級無塵室Tians帶有連帽和拉鏈的 高性能工作服
    • 乳膠/無膜涂層工作服,用于關鍵和低顆粒清潔環境
    • 適用于暴露于血源性病原體,某些有害液體以及需要考慮液體飛濺的地方
    • 靜電耗散聚乙烯/丙烯織物,表面電阻≤1011
    • 連帽,前拉鏈開合,松緊的手腕,松緊的腳踝,松緊的下背部和防風雨板拉鏈套,鋸齒式接縫構造
    • 盡管這個工作服真的很酷,但是它說ISO 6還不夠干凈?

蓬松的

  • 低絨面聚丙烯膨脹帽

 胡子蓋

  • 無乳膠胡須套

口罩

  • 3層一次性無紡布口罩

手套

ISO 5或100級手套符合ISO和FED STD 209E等級。這些袋裝手套經處理不含微生物,不含粉末。一次使用后將其丟棄。

  • ISO 5丁腈手套
  • 100級丁腈無塵室手套

鞋套

  • 鞋套由100%紡粘聚丙烯制成,并且防滑

穿衣區

設置袍子區,以方便拿取潔凈室服裝。

  • 在更衣室的入口處需要有粘性的墊子,以便在進入之前清除顆粒。
  • 踩下粘性墊之后以及進入更衣室之前,要準備好鞋套。
  • 設置一個服裝供應區,在其一側上有連衣裙和禮服,并在一個單獨的架子上放置頭巾,口罩和其他用品。服裝架由符合行業標準的不銹鋼制成,并為清潔和穩定而制造。一些儲物柜配備了HEPA過濾功能,可將不需要的顆粒掃走。
  • 使用容易清洗的長袍長凳穿工作服。每次使用后,請準備無菌濕巾來清潔工作臺。
  • 用無塵室膠帶劃定干凈/骯臟的地板。5S系統可以幫助提高潔凈室的效率。
  • 只允許在指定的清潔區域(通常用新鮮的無紡布拖把清潔)上的贓物。

在潔凈室-辦公用品

日常用品(例如筆,記事本和紙張)不適合用于潔凈室設置。Lap Pro存有您需要的潔凈室記錄雜物。

  • 無塵室筆記本
  • 凈化紙和便簽
  • 潔凈室筆(這表示顯微鏡零件和附件?)

在潔凈室中-工具和設備

  • 適用于ISO 5潔凈室的烤箱
  • 鑷子,鑷子,鉗子,刷子和止血鉗等工具
  • 無塵棉簽
  • 潔凈室真空系統
  • 潔凈室剃須刀
  • 墊料架和雜物車生銹且發霉
  • 儀表和顯示器
  • 架子,架子,箱子和垃圾桶
  • 保溫和運輸
  • 垃圾桶和內膽

潔凈室化學品

  • 潔凈室級溶劑
  • 化學品儲存柜

打掃

  • 密封邊緣聚酯抹布非常適合ISO 5或100級潔凈室使用,因為其邊緣不會脫落。遠離聚纖維素或無紡布擦拭布進行此分類。
    • 考文垂潔凈室聚酯抹布提供zui**別的保護,因為它們已在10級(ISO 4級)潔凈室中洗滌過,以除去顆粒。
    • Chemtronics Coventry聚-石ESD擦拭布為100 – 1000級(ISO 5-6)黑色,激光密封邊緣聚酯擦拭布,在107-109范圍內具有靜電耗散性,符合S20.20的要求。
    • Chemtronics Coventry高純聚酯酒精擦布中充滿了經過0.05 µm介質過濾的半導體級異丙醇(IPA)。它們是經過處理和包裝的10級(M3,ISO 4)潔凈室,是清洗半導體晶圓廠和其他關鍵應用的理想選擇。
  • Chemitronics Coventry潔凈室霞慕麗去除助焊劑

潔凈室測試

  • Chemtronics泡沫或植絨取樣棉簽

 

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